发布时间:2023-07-06 17:00:40
气浮平台?
在科研和工业应用场景中,气浮平台已经被广泛使用。气浮平台的核心工作原理是基于气体动静压效应,利用气浮轴承和电控元件构成了精密的位移平台,让承载面浮在气浮导轨或轴承上,实现无摩擦,无抖动的平滑运动。
工作原理?
气浮平台的结构由气浮导轨(含承载面),直线电机和光栅尺等主要部件组成。通过气管将干净,无水无油的压缩空气输入到承载面与气浮导轨之间的气模间隙,气体在气模间隙内流动,让承载面在气浮导轨上浮起来。气体起到了润滑剂的作用,实现无摩擦运动。
常见的气浮直线导轨有如下形式:
a) 重力平衡式气浮导轨
b) 闭式气浮导轨
c) 永磁预载式气浮导轨
d) 真空吸附式气浮导轨
常见的气浮孔结构为:
a)小孔节流结构
b) 多孔质结构
应用领域?
传统的以旋转和滚珠丝杠驱动的定位精密平台存在着传动环节多、响应滞后大、存在摩擦、精度差等缺点,而气浮轴承与电磁直驱结合的气浮定位平台则克服了以上的缺点。气浮平台在半导体、光刻设备、航空航天、3D加工、精密车辆和生物医学等众多领域中具有十分广泛的被应用。
三英精控气浮平台?
三英精控在运动控制上有着丰富的制造经验,为客户提供了一款超大行程的高精度气浮运动台。
行程:6500mm;相对定位精度:±0.5μm;速度:100mm/s
直线度:±10μm;偏摆:±1.***rc sec;俯仰:±1.***rc sec
ETSA-300气浮平台
特点:通过静压气浮隔离机械运动副之间的接触,提高平台机构运动精度、表面平滑、微小偏差(俯仰,偏摆等)、性能稳定、没有机械损耗、“零”摩擦可使其进入纳米级应用。
使用场所:精密加工、精密测量、微电子制造业、光刻机平台、半导体加工业、扫描。
气浮旋转台系列
三英精控从用户的需求,综合考虑精度要求、负载大小、承载面尺寸、工作速度、加速度、动作路径及多轴整合等需求来设定方案,为客户提供高性价比的气浮平台。